AL120

AL120晶圆搬送机可对应200mm以下晶圆尺寸的硅 、化合物晶圆 ，可以安全高效搬送薄片晶圆 ，非常适合于前道到后道工程的晶圆检查。

适应范围广 、搭配灵活

对应多种尺寸组合

鸿运国际推出了200 mm专用型 、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（对应小于150 mm的晶圆）的3种型号 。除此以外 ，您还可以根据检查模式 ，选用微观检查专用型号"L型"或微观•宏观检查兼用型号"LMB型" 。 

晶圆尺寸•厚度对应表

薄片检查

对应薄片制造厂家的需求 ，AL120-LMB-90搭载的新型搬送手臂的设计可以搬运整盒25枚90 μm的极薄晶圆 。

高度实用性

进一步优化的宏观检查

背面宏观360゜旋转

宏观检查手臂可以360゜旋转 ，更为容易发现伤痕和微尘 。 利用360゜旋转功能 ，完全可以目视检查整个晶圆（包括边缘） 。此外 ，在表面宏观检查中 ，使用操纵杆可随意将晶圆最大倾斜30゜进行观察 。

操作便捷

• 为了满足各种常规检查的要求 ，AL120可以登记多达10个检查程序 。使用这一功能可以记录特定的卡盒 、晶圆和传输速度 。快速菜单选择按钮则可以让操作员立刻切换不同程序 。

• 晶圆搬送机的菜单设置和设置参数都会在新型的LCD显示器上显示 。 使用RECALL按钮可以显示检查时登记的有缺陷的对应SLOT ，便于操作者再次确认 。

• AL120使用非接触光学定位 、查找和对齐缺口／平面 ，可以减少晶圆和设备之间的接触 ，提高晶圆的清洁度。

高度可靠性

优先考虑晶圆和操作者的安全

• 为了能够安全的安装晶圆 ，采用了在装置正面放置片盒的设计 。

• 在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测 ，同时 ，在环境保护方面遵守了RoHS指令 。

坚固 、耐用的显微镜底座

AL120搭载奥林巴斯MX专业晶圆检查显微镜系列 ，通过各种观测方法 ，包括 ：明视场 、暗视场 、微分干涉（DIC） 、近IR（近红外线）和DUV（深紫外线） ，实现了卓越的图像分辨率和清晰度 。电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定 ，可以优化各物镜的照明和对比度 。如果特别订制 ，AL120还可以应用到其他型号的显微镜上 。

人机工程学设计的载物台

• 手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率 ，标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能 。

• 可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台 ，进一步将检查过程自动化 。只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置 。

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