AL120-12

AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP（装载口）和FOSB ，适用于低成本的后期检查 。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时（包括薄晶圆和变形晶圆）的效率和安全 。

人机工程学设计 ，操作方便

• 可以自由设置的检查模式 ，在设计上考虑了后道工程中的操作性 ，尤为重视设备的操作简便性 。

• 分别对应FOUP(Load Port）和FOSB的两种机型 。

坚固 、可靠和安全传送

• 延续了上一代机型的坚固性 、可靠性和安全性 ，能够安全可靠的传送300 mm晶圆 。

• 薄片 ，Warped晶圆皆能安全搬送 。

• 宏观观察位置的最优化和操作单元的集中排列 ，提高了设备的操作舒适性 。

专用宏观照明装置

专用宏观照明装置

为异物 、伤痕 、膜斑 、散焦的发现提供了理想的照明方式  高亮度金属卤化物光源与光纤照明的组合 ，实现了300 mm晶圆的冷光源全面照射 。