激光共聚焦显微镜OLS5100

激光共聚焦显微镜OLS5100可观察纳米范围的台阶 ，并可测量亚微米级别的高度差 。还可以测量从线到面的表面粗糙度 。配备的两套光学系统（彩色成像光学系统和激光共焦光学系统）让其能够获取彩色信息 、高度信息和高分辨率图像 。

激光共聚焦显微镜OLS5100 有4大关键价值 ：

• 捕捉任意表面形状 。

• 快速获得可靠数据 。

• 使用简单 - 只需放置样品并按一下按钮即可 。

• 测量具有挑战性的样品 。

价值1 ：捕捉任意表面形状 。

OLS5100显微镜的先进技术使其能够进行高分辨率的3D样品测量 。

价值2 、快速获得可靠数据

该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度 ，从而缩短您的扫描时间 ，简化您的工作流程 ，最终实现生产力的提升 。

价值3 、使用简单 ，只需放置样品并按一下按钮即可

LEXT® OLS5100显微镜具有自动数据采集功能 ，因而无需进行复杂的设置调整 。 甚至生疏的用户也可以获得准确的检测结果 。

价值4 、可测量具有挑战性的样品

低输出 、非接触式无损激光测量意味着不需要样品制备 。可以在不损坏易损性材料的情况下对其进行测量 。扩展架可容纳高达210毫米的样品 ，而超长工作距离物镜能够测量深度可达25毫米的凹坑 。在测量这两类样品时 ，您只需将样品放在载物台上即可 。

激光共聚焦显微镜OLS5100获取彩色信息
彩色成像光学系统使用利用白光LED光源和CMOS相机获取彩色信息 。
[获取3D 高度信息和高分辨率共焦图像]
激光共焦光学系统采用405纳米激光二极管光源和高灵敏度光电倍增管获得共焦图像 。浅焦深使其能够用于测量样品的表面不规则性 。

激光共聚焦显微镜OLS5100 405纳米激光光源

光学显微镜的横向分辨率随着波长的减小而获得提升 。采用短波长激光的激光显微镜相比采用可见光（峰值550纳米）的传统显微镜具有更优的横向分辨率 。 OLS5100显微镜利用405纳米短波长激光二极管获得卓越的横向分辨率 。

激光共聚焦显微镜OLS5100激光共焦光学系统

激光共焦光学系统仅接收通过圆形针孔聚焦的光线 ，并非采集从样品上反射和散射的所有光线 。这样有助于消除模糊 ，让其能够获得比普通显微镜对比度更高的图像

激光共聚焦显微镜OLS5100 X-Y扫描仪

OLS5100显微镜配有奥林巴斯光学扫描仪 。通过将采用电磁感应MEMS谐振扫描仪的X轴与采用Galvano扫描振镜的Y轴相结合 ，能够让X-Y扫描仪定位于相对物镜瞳镜共轭的位置 ，因而能够实现具有较低扫描轨迹失真和较小光学像差的卓越X-Y扫描 。

激光共聚焦显微镜OLS5100高度测量原理

在测量高度时 ，显微镜通过自动移动焦点位置获取多个共焦图像 。
根据非连续的焦点位置（Z）和检测光强度（I）可以估算每个像素的光强变化曲线（I-Z曲线） ，并获得其峰值位置和峰值强度 。由于所有像素的峰值位置与样品表面的不规则性相对应 ，因此可以获得样品表面的3D形状信息 。与此类似 ，通过峰值强度数据可以获得针对样品表面所有位置焦点的图像（扩展图像） 。