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    超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

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    超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

    现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合 ，衍生而成Regulus8240 、Regulus8230 、Regulus8220 、Regulus8100 。

    "Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能 ，配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1 ，可以获得高稳定的束流 。

    通过优化电子光学系统 ，Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm ，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm 。

    此外 ，为充分发挥超高分辨的能力 ，放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1 。
    Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能 ，通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理 ，帮助用户充分发挥仪器的最佳性能 。

    *1仅限Regulus8240/8230/8220

    • 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2

    • 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间 ，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的最佳性能
      (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV 、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

    • 采用污染小 、高真空样品仓

    • 运用能量过滤器(选配) ，可观察到多种成分对比度*2

    极低着陆电压下高分辨观察

    极低着陆电压下高分辨观察
    样品 ：金颗粒
    着陆电压 ：10 V

    超高分辨观察

    超高分辨观察
    样品 ：Pt催化剂
    加速电压 ：30 kV

    低加速电压下高分辨EDX分析

    低加速电压下高分辨EDX分析
    样品 ：Sn球
    着陆电压 ：1.5 kV

     

    • *2

    • 仅限Regulus8240/8230/8220


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